
▨ 공압 디스펜서 ELVEFLOW
■ 주요기능
1) 빠른 안정화, 최저 (40ms)
2) 높은 압력 안정성 : 0.005%
3) 응답시간 : 9ms
4) 압력 해상도 : 0.003% FS
5) 셋팅시간 : 35ms
6) 유량센서와 연동이 가능하여, 유량 및 압력제어
■ 제품 흐름도


■ 제품 사양


■ 제품 영상
■ 적용분야
▶ 마이크로 LED 리페어 공정 등 미세공정


■ 옵션 제품

압력측정센서
FDA 인증을 받은 압력 측정센서
> 유체가 이동할때 발생하는 압력 Sensing
> Dead Volume 7.5 μl로 최소화
> 0.2%이하의 정확성
> 1psi-100psi 까지 Range별 제품 구성
> 최대 100ml/min의 유량
> Elveflow OB1 및 Flow Reader와 호환

Bubble trap
이송 중 발생하는 기포 제거 장치
> 효과적인 기포제거
> 3가지의 Internal volume : 23 μl (S), 95 μl (M), 362 μl (L)
> 내화학 재질 – PEEK body & PTFE 멤브레인
> 간단한 Membrane 교체
> Flow rate : 5 μl/min ~ 60 ml/min
> Autoclavable